熱式空氣質(zhì)量流量計(jì)利用熱擴(kuò)散原理制造，熱擴(kuò)散是一種可在嚴(yán)苛條件保持優(yōu)良性能與穩(wěn)定可靠性的新型技術(shù)，通過對(duì)流體進(jìn)行加熱改變液體的溫度場(chǎng)，來實(shí)現(xiàn)流體質(zhì)量的測(cè)量，可對(duì)氣體進(jìn)行體量的檢測(cè)測(cè)量，并能精確測(cè)得數(shù)值。

熱式空氣質(zhì)量流量計(jì)的通過傳感器進(jìn)行流體的測(cè)量，傳感器由兩部分組成，一個(gè)叫速度傳感器，在工作中會(huì)被加熱至比周邊環(huán)境更高的溫度，另一個(gè)叫溫度傳感器，用來感應(yīng)介質(zhì)溫度變化，隨著介質(zhì)流速加快，更多熱量被帶走，溫度下降，通過兩傳感器之間的溫度差以及介質(zhì)流速的比例關(guān)系，測(cè)得流體流量。

熱式空氣質(zhì)量流量計(jì)基本原理：通過測(cè)量氣體流經(jīng)流量計(jì)內(nèi)加熱元件時(shí)的利用冷卻效應(yīng)的原理，被測(cè)量氣體經(jīng)過加熱元件后，溫度會(huì)發(fā)生變化，通過前后的溫度差，來對(duì)氣體流量進(jìn)行測(cè)量。氣體通過的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測(cè)，另一個(gè)作為加熱器。

溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。

溫度傳感元件通過電流的改變借助加熱器和測(cè)量氣體的溫度差，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體溫度的檢測(cè)，氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。